潔凈室里存在大量可以節(jié)約能源的地方，例如暖氣、通風(fēng)和空調(diào)（HVAC）、工藝?yán)鋮s、壓縮空氣以及一些其他的設(shè)施。

以下介紹大型無塵室的環(huán)保節(jié)能方面：

　　無塵室在設(shè)計(jì)和建造之初很大程度上是因?yàn)樵谠O(shè)計(jì)和建造工廠時(shí)走捷徑，盡可能地壓縮前期投入，而不顧后期運(yùn)行費(fèi)用。高效率的設(shè)計(jì)和高效率設(shè)備需要很大的前期投入。那種“小處節(jié)約大處浪費(fèi)”的所謂捷徑和削減成本，會(huì)造成工廠的運(yùn)行性能降低和能耗增加。

　　對(duì)已建成工廠的改建通常會(huì)陷入到毫無意義的經(jīng)濟(jì)漩渦當(dāng)中。升級(jí)的投資收回率通常比直接購(gòu)買新設(shè)備要高很多。大部分工廠設(shè)備翻新的投資回收期不超過兩年―― 也就是說，通常投資收回率至少是50%，對(duì)照投資新的固定資產(chǎn)，則只有10%到15%（即投資回收期需要七年時(shí)間）。這些情況降低了企業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)力和投資股東的興趣。在今天高度發(fā)達(dá)的工業(yè)中，無塵車間運(yùn)行和產(chǎn)品設(shè)計(jì)一樣需要改革。

　　高效率地利用能源的例子很多。挖掘浪費(fèi)的能源比賣產(chǎn)品更能增加利潤(rùn)，因?yàn)楣?jié)約下來的錢在最終效益中馬上就能體現(xiàn)出來。雖然能源的成本占晶片產(chǎn)品成本占不到百分之二，但是電能卻是晶片制造商在運(yùn)行中的開支卻是最大的，每座工廠每年總共要消耗上百萬美元的電能。在新建工廠時(shí)，節(jié)能措施可以節(jié)約資本和建造時(shí)間。雖然初步設(shè)計(jì)報(bào)價(jià)昂貴，但是經(jīng)濟(jì)翻新的可能性仍然存在。設(shè)備翻新的投資回收期不超過兩年，總體而言，在某種程度上投資收回率是較高的。

①嚴(yán)格控制無塵車間的設(shè)計(jì)參數(shù)（潔凈度和溫濕度）和無塵車間的面積，尤其是十級(jí)、百級(jí)級(jí)這樣的高級(jí)別單向流無塵車間的面積。因?yàn)闈崈艏?jí)別越高，溫濕度精度要求越高，單位面積能耗越大。因此，實(shí)事求是該高則高，不要無原則地提高要求。無塵車間的面積不要留太大余地。尤其是高級(jí)別的無塵車間面積，盡量采用混合流以低級(jí)別代替高級(jí)別無塵車間。盡量縮小十級(jí)、百級(jí)單向流無塵車間的面積。

②嚴(yán)格控制無塵車間的凈化送風(fēng)量，不要留太大的安全系數(shù)。控制監(jiān)督施工質(zhì)量，減少潔凈室和管道的漏風(fēng)量，加強(qiáng)保溫減少冷損失，提高設(shè)備效率盡量利用變頻措施以利節(jié)能。

③嚴(yán)格控制新風(fēng)量。盡量降低排風(fēng)量，采取措施提高排風(fēng)效果，降低排風(fēng)量以減少新風(fēng)空調(diào)處理的能耗。

④加強(qiáng)管理。減少跑、冒、滴、漏。充分利用熱回收和天然能源做為空調(diào)系統(tǒng)的預(yù)冷和預(yù)熱。

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