本文參考《半導(dǎo)體制造技術(shù)導(dǎo)論》--蕭宏【美】

無塵室是一間人造環(huán)境，室內(nèi)的粒子數(shù)目比一般環(huán)境中少很多。最初的無塵室為醫(yī)院手術(shù)室而建，可以控制空氣中引發(fā)手術(shù)后感染的細(xì)菌污染。半導(dǎo)體工業(yè)發(fā)展后不久，工程師便認(rèn)識到控制污染物的重要性。

嚴(yán)格的無塵室規(guī)則對于隔離污染物及防止成品率降低很有幫助。

無塵室等級的定義：

根據(jù)FED-STD-209E標(biāo)準(zhǔn)制定的空氣微粒潔凈度等級表

等級	粒子總數(shù)/立方英尺
	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	5μm
M-1	9.8	2.12	0.865	0.28
1	35	7.5	3	1
10	350	75	30	10
100		750	300	100
1000				1000	7
10000				10000	70

根據(jù)ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)的空氣微粒潔凈度等級表

ISO等級序數(shù)（N）	大于或等于表中被考慮的粒徑的最大濃度限值 （pc/m3空氣濃度限值按3.2中的公式計算）
	0.1μm	0.2μm	0.3μm	0.5μm	1μm	5μm
ISO Class 1	10	2
ISO Class 2	100	24	10	4
ISO Class 3	1 000	237	102	35	8
ISO Class 4	10 000	2 370	1 020	352	83
ISO Class 5	100 000	23 700	10 200	3 520	832	29
ISO Class 6	1 000 000	237 000	102 000	35 200	8 320	293
ISO Class 7				352 000	83 200	2 930
ISO Class 8				3 520 000	832 000	29 300
ISO Class 9				35 200 000	8 320 000	293 000

注：兩個標(biāo)準(zhǔn)的使用的單位不同， 換算之后是不等同的。

潔凈室：空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、產(chǎn)生及滯留粒子。室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。

無塵室的地板通常是很高的孔狀框型地板，以便空氣能夠從天花板垂直流動到制造和設(shè)備區(qū)的底部區(qū)域，當(dāng)氣流回送到無塵室時，將通過微粒空氣過濾器除去氣流所帶的大部分微粒。

為了達(dá)到比100級（FED-STD-209E標(biāo)準(zhǔn)）還要高的潔凈度，維持線性直線氣流、避免空氣擾動非常重要?？諝鈹_流會將墻壁、天花板、桌子和工具表面上的微粒帶入空氣中，而且使得微粒不容易靜止。但通過線性氣流后，空氣中的微粒就能很快被氣流帶走。等級100為線性氣流和擾動氣流的分界線，也是無塵室成本中的一個重點(diǎn)。使用擾動氣流可以達(dá)到低于100級的潔凈度，其成本比線性氣流低。

無塵室內(nèi)的氣壓一直維持在比非無塵室區(qū)域高的狀態(tài)，以避免開門時空氣流入帶進(jìn)微粒。同樣的原理也用于無塵室內(nèi)的不同等級區(qū)域。較高等級區(qū)域的氣壓比較低等級區(qū)域的氣壓高。由于溫度、氣流速度和濕度變化都會對表面微粒形成擾動，所以無塵室內(nèi)的所有空氣狀態(tài)都必須嚴(yán)格控制。

嚴(yán)格管理無塵室并減少因污染而造成的成品率損失非常重要。人體會散發(fā)出許多微粒，而且也是鈉元素的主要來源，鈉會造成移動離子污染，因此，無塵室內(nèi)的工作人員必須穿著特別設(shè)計的服裝。以前操作人員是主要的污染來源，所以有些工廠甚至限制無塵室中的工作人員數(shù)目以控制污染。無塵室服飾的改良和嚴(yán)格的無塵室穿衣程度已大幅降低了無塵室中工作人員造成的污染。正確的穿著無塵衣和脫無塵衣程序都是無塵室規(guī)定的重要組成部分。

一般生產(chǎn)工廠要求人員再進(jìn)入無塵室前先經(jīng)過空氣淋浴，讓高壓氣流將無塵衣的表面微粒吹走。為了達(dá)到最好的效果，工作人員在高壓氣流吹送時應(yīng)該舉起雙臂并緩慢轉(zhuǎn)動身體。有些生產(chǎn)工廠就免去了這些過程，但有些工廠卻要求工作人員做兩次空氣淋浴，然后員工才能進(jìn)入無塵室。

脫去無塵衣的程序幾乎是穿上無塵衣程序的反動作。工作人員首先脫下長靴，然后是無塵衣和頭套，并且通常將它們掛在衣架上以供下次使用。無塵室的服裝通常交給專業(yè)清洗店每周清洗。有些生產(chǎn)廠使用一次性的無塵服飾，這些服裝在用過后就丟掉。一旦出了更衣室，工作人員便將頭套和乳膠手套脫下丟棄，鞋套通常是最后脫下，有些工廠會回收亞麻手套。

一旦進(jìn)入無塵室，操作人員就必須以平穩(wěn)的步伐行走，跑步或跳躍都可能擾動地板、墻壁和天花板表面上的微粒。無塵室中只要極少的椅子，因為當(dāng)有人坐下或起身時都會造成椅子表面上的微粒脫離。無塵室內(nèi)椅子較少，也不準(zhǔn)有人坐在桌子上或依靠著墻壁。一般的紙張會帶有細(xì)小的纖維碎片，因此室內(nèi)只能使用無塵室專用的紙張。對于第一級或高于第一級的無塵室，不允許使用紙張，所有的資料都會以的電子檔的形式保存在電腦中。

移動粒子污染是集成電路生產(chǎn)中的另一個問題，如果操作人員的手套接觸到皮膚，就必須立刻換上一雙新的手套或?qū)⑿碌氖痔字苯犹自谂K手套上。同樣，如果工作人員咳嗽時用手掩口，他們就應(yīng)立刻更換乳膠手套，因為從口腔噴出的高壓氣流可能會使唾液穿透口罩，按照嚴(yán)格要求，工作人員咳嗽前就應(yīng)離開制造區(qū)，在無塵室中嚴(yán)禁飲食。

無塵室的工作人員不允許使用化妝品、香水、古龍水或乳液，因為這些東西釋放出微粒造成污染。技術(shù)人員不可以戴隱形眼鏡，因為生產(chǎn)工廠中的微量氯氣可能會和隱形眼鏡生產(chǎn)化學(xué)反應(yīng)而傷害眼睛。無塵室和臨近的建筑都是禁煙區(qū)，吸煙的無塵室員工被鼓勵戒煙，因為即使操作人員抽完了香煙，還是有可能釋放出先前吸入的微粒。

關(guān)于無塵技術(shù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)

ISO 14644-1潔凈室及相關(guān)控制環(huán)境國際標(biāo)準(zhǔn)

JGJ 71-90潔凈室施工及驗收規(guī)程

GB 50472-2008 電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

GB 50073-2001潔凈廠房設(shè)計規(guī)范

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